- Информация о товаре
- Технические характеристики
- Комплект поставки
- Аналоги
- Оплата и доставка
Описание:
Комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением 4200A-SCS-PK2. В состав комплекта входят: 4200A-SCS (1 шт) - базовый блок параметрического анализатора; 4200-SMU (2 шт) - измерительный модуль средней мощности; 4200-PA (1 шт) - токовый предусилитель; 4210-CVU (1 шт) - опция CV-метрии; 8101-PIV (1 шт) - оснастка для подключения тестируемых компонентов.
Система 4200A-SCS – универсальная система для измерения вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе, С-V метрии (снятие вольт-фарадных характеристик) на переменном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.
Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.
Система измерения параметров полупроводников 4200A-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств:
Назначение системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:
- Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В;
- Измерения на переменном токе (C-V, C-f, C-t) в диапазоне до 420 В с разрешением 1 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
- Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 5 нс;
- Автоматическое переключение между режимом измерения ВАХ и CV-метрией.
Особенности системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:
- Встроенная рабочая станция на базе ОС Windows 7;
- Сенсорный 15,6" ЖК монитор высокого разрешения (1920x1080);
- Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно;
- Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности;
- Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультранизкочастотную CV-метрию;
- Опциональное измерение высоковольтных вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В;
- Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (Clarius) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования;
- Библиотека до 450 стандартных тестов;
- Широкий набор интерфейсов и портов: USB, SVGA, Printer, GPIB, Ethernet, mouse, Keyboard.
Измерительные модули:
Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе в четырехквадрантной области (измерение/генерация). Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200-SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU.
Модули средней мощности 4200-SMU:
-
7 токовых диапазонов для генерации и измерения:
от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения;
от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации. -
4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
от 200 мВ до 200 В.
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
Максимальное выходное напряжение:
21 В при токе 100 мА;
210 В при токе 10 мА. -
Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
Модули большой мощности 4210-SMU:
-
9 токовых диапазонов для генерации и измерения:
от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения;
от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации. -
4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
от 200 мВ до 200 В.
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
Максимальное выходное напряжение:
21 В при токе 1 А;
210 В при токе 10 мА. -
Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
Токовый предусилитель 4200-PA:
Расширяет токовые диапазоны дополнительно:
1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.
CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик:
С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:
- встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU;
- опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER;
-
квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU
с опцией 4200-PA; - новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA.
Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.
Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:
-
тестовый сигнал:
частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
разрешение тестового сигнала 1 кГц, 10 кГц, 100 кГц, 1 МГц в зависимости от диапазона;
точность частоты ±0,1%;
выходной уровень 10 мВ...100 мВ;
разрешение 1 мВскз;
точность±(10%+1 мВскз) -
внутренний источник постоянного смещения:
диапазон ±30 В (60 В диф.);
разрешение 1 мВ;
точность±(0,5%+5 мВ);
максимальный ток 10 мА; -
режим свипирования:
параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение;
закон: линейный,пользовательский;
направление: вверх, вниз;
количество точек: 4096; - измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta;
- выходные интерфейсы: 4 SMA (female).
Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.
4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров:
- Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов;
- MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах;
- MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах;
- Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов;
- Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах;
- Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах;
- PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения;
- Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell;
- BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор);
- I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте;
- Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке;
- Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки;
- Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора.
Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-PWR:
- Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ;
- Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ);
- Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ;
- Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU) или 300мА (для 4210-SMU);
- Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки;
- Поддержка до 4-х SMU.
4200-CVU-PWR применяется для тестирования:
- мощные устройства;
- дисплеи;
- LDMOS;
- устройства памяти.
Квазистатический способ CV-метрии:
- Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA;
- Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate;
- Поддержка постоянного смещения ±200 В;
- Библиотеки тестов.
Применяется для тестирования:
- CMOS малой мощности;
- некоторые типы дисплеев (индикаторов);
- различные устройства с низким током утечки.
Ультранизкочастотная CV-метрия:
- Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц);
- Сверхнизкий уровень шумов;
- Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ;
- Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки.
Применяется для тестирования:
- CMOS;
- органическая электроника (OLED, OFET, OPVC);
- устройства памяти;
- тонкопленочные транзисторы (TFT).
Для автоматического переключения между измерениями ВАХ и CV-метри и доступен модуль 4200A-CVIV.
Кроме того, CV-метрия может быть добавлена в любой выходной канал не изменяя текущее подключение кабелей. Любой канал может быть сконфигурирован пользователем для измерений малых токов с использованием предусилителя 4200-PA или со стандартным разрешением для SMU при измерении токов - через 4200A-CVIV-SPT.
-
Входные разъемы:
4200-PA: D-Sub (male), 15 pin;
4200-CVIV-SPT: 2 триаксиальных (Female)на модуль;
CVU: 4 SMA (female); -
Выходные разъемы:
8 триаксиальных (female); - Выходные канал: конфигурирование от 1 до 4;
- Максимальное напряжение 210 В;
- Максимальный ток 1А.
Ультрабыстрое тестирование:
В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:
- Генератор импульсов типа 4220-PGU;
- Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU.
Обе модели поддерживают:
- Два выходных канала;
- Стандартный (2-уровневый) импульс;
-
Segment Arb:
макс. количество сегментов 2048;
макс.количество последовательностей 512;
длительность сегмента от 20 нс до 40 с;
разрешение 10 нс; - Формирование сигнала произвольной формы;
-
Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода:
10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω);
40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω); -
Выходные разъемы:
4 SMA (female);
2 HDMI (только для 4225-PMU).
Модель 4220-PGU является только двухканальным генератором импульсов напряжения.
Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:
импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей);
переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени;
импульсный генератор: двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB.
Модуль предусилителя/коммутатора 4225-RPM используется для автоматического переключения между измерениями ВАХ, CV-метрии и импульсными измерениями.
Данный модуль расширяет диапазон измерения 4225-PMU для работы с малыми токами.
- Входы SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control;
-
Входные разъемы:
2 триаксиальных (female);
2 SMA (female);
1 HDMI; - Выход - 1 канал;
-
Выходные разъемы:
2 триаксиальных (female).
Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A.
Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет.
Опция 4200-BTI-A включает в себя:
- один модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU;
- два модуля предусилителей/коммутаторов 4225-RPM;
- программное обеспечение для автоматического тестирования (ACS);
- тесты для ультрабыстрого BTI тестирования;
- комплект кабелей.
Для проведения многоканальных измерений для системы 4200A доступно использование матричных коммутаторов: шестислотового 707B и однослотового 708B.
Программные средства:
Интерактивное программное обеспечение состоит из различных программных продуктов для обеспечения функционирования системы Keithley 4200A.
Среди них:
- Keithley Clear Straightforward Analysis (Clarius)—интерактивный пользовательский интерфейс для 4200A-SCS;
- Keithley User Library Tool (KULT)—поддерживает создание и интеграцию программ на языке С и другие пользовательские алгоритмы в Clarus для использования 4200A-SCS. Требуется опция 4200-COMPILER;
- Keithley Configuration Utility (KCON)—позволяет управлять по GPIB внешними устройствами, такими как: коммутаторами, внешними измерительными модулями, источниками-измерителями, установками зондового контроля, измерителями емкости, импульсными генераторами, осциллографами;
- Keithley External Control Interface (KXCI)—приложение для управления системой 4200A-SCS от удаленного компьютера через GPIB;
- KPulse графический пользовательский интерфейс(GUI) предоставляет альтернативные (без программирования) возможности по конфигурированию и управлению модулями 4225-PMU и 4220-PGU. Используется для проведения быстрых тестов без взаимодействия с другими модулями и ресурсами 4200A-SCS.
Пользовательский интерфейс (Keithley Interactive Test Environment - KITE):
Что позволяет данный интерфейс?
- Даже неопытный пользователь может сразу без помощи программиста приступить к измерениям, которые займут немного времени;
- Новый пользовательский интерфейс Clarius позволяет осуществить выбор из библиотеки в которой более чем 450 тестов, проектов и устройств для быстрого тестирования;
- Быстро и правильно проводить тестирование благодаря встроенной системе помощи, которая включает подробное описание тестов, схему измерения и видеоролики;
- Быстро установить параметры тестирования минимальным количеством кликов мыши с использованием нового представления "All Parameteкs" или графического представления;
- Анализировать и систематизировать полученные результаты и не заботиться о потере данных;
- Clarius поддерживает измерительные функции:
> Прецизионные измерения (снятия ВАХ) на постоянном токе при помощи измерительных модулей 4200-SMU и 4210-SMU;
> CV-метрию (измерение импеданса на разных частотах):
Cp-Gp (шунтирующая емкость и проводимость),
Cs-Rs (последовательное сопротивление и проводимость),
Cp-D (шунтирующая емкость и коэффициент потерь),
Cs-D (последовательное сопротивление и коэффициент потерь),
R+jX (сопротивление и реактивное сопротивление),
Z-theta (импеданс и фазовый угол),
DCV (смещение постоянного напряжения),
частота,
временные метки на 4096 точек за свипирование
> Ультрабыстрые ВАХ:
одновременное измерение тока и напряжения в импульсном режиме;
напряжение, ток и время одновременно оцифровываются в режиме захвата формы ( до 1 млн. точек оцифровки)
Доступны два метода экстракции параметров: формульный редактор (выполняет трансформацию данных для автоматизации обработки и экстракции данных) и встроенная крупноформатная таблица в стиле Excel
Пользователю доступны широкими возможностями масштабного управления для анализа:
- экспорт в xls формат;
- расширенный поиск;
- большой набор математических функций;
- библиотека основных тестов ВАХ;
- библиотека тестов в области нанотехнологий
- библиотека внешних инструментальных команд
- встроенные тесты испытания на надежность
- фабрично установленные константы.